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Brooks质量流量计5800系列中文说明书

5800 系列质量流量计和质量流量控制器在稳定性和可靠性方面堪称标G，因而赢得广泛的认可。这些产品具有广泛的流量测量范围并适用于各种各样的温度和压力条件，非常适合在化工和石化研究、实验室、分析、燃料电池和生命科学等领域的应用。

优点：

• Z越的信噪比性能，可在低设定值下获得高精度

• 通过改进传感器制造和烧机测试工艺获得Z越的长

期稳定性

• 恒温封装可降低对外部温度变化的敏感性

宽流量范围

5800 系列的流量范围极广。5850 型具有低至 3 ccm的满量程流量。借助 50:1 的高调节比，可重复测量或控制 0.06 ccm 流量的气体！5853 型可监测或控制高达1000 lpm 的气体流量。

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